![](/img/cover-not-exists.png)
Zur Bestimmung der Zusammensetzung und Homogenität reaktiv gesputterter SiNx-Schichten
H. Grübmeier, E. Gyarmati, S. Mantl, M. Mazurkiewicz, A. Naoumidis, X. QuiVolume:
329
Year:
1987
Language:
german
Pages:
5
DOI:
10.1007/bf00469177
File:
PDF, 546 KB
german, 1987