Plasma-based ion implantation utilising a cathodic arc plasma
M.M.M Bilek, D.R McKenzie, R.N Tarrant, S.H.M Lim, D.G McCullochТом:
156
Рік:
2002
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/s0257-8972(02)00078-6
Файл:
PDF, 954 KB
english, 2002
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
